开发背景
使用多个测量仪器时，传感器头和处理单元的管理变得繁琐，是否可以开发一体化的测量仪器？根据客户的需求，我们进行了开发。基于常见的测量范围和工作距离规格，我们将处理器进行了集成，测量速度也得到了提升。并且，我们开发了适合嵌入装置的小型尺寸。
特点
1. 传感器与处理器一体化
2. 小型化，可嵌入装置或夹具
3. 高速测量（1.6K 数据/s）
产品信息
| 项目 | 一体化倾斜传感器（小型Type） |
| 型号 | ST-3100 |
| 测量对象 | 光学平面（反射率80%以上） |
| 工作距离 | 0～200mm |
| 测量范围 | ±54分※1 |
| 重复性※2 | 0.025分 |
| 线性度※3 | ±0.15% of F.S. |
| 光源 | 660±10nm |
| 光束直径 | φ1mm※4 |
| 输出更新率 | 1,600次/秒 |
| 外形尺寸（不包括凸出部分） | W65 D75 H34mm |
※1. 圆形范围
※2. 我公司标准样品在静止状态下测量的16次平均波动宽度（6σ）
※3. 我公司标准样品在W.D.140mm位置测量时与理想直线的误差。可能会根据测量对象有所变化。
※4. 传感器射出后的直径（1/e²宽度）
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