SOLUTIONS

解决方案案例

确认椭圆偏振仪对非接触测量对象的入射角度

エリプソメータの測定対象物非接触角度確認

・问题

在椭圆偏振仪中，是否有简单的方法来管理测量对象的测量精度和姿态的波动？

・解决方案

通过将倾斜传感器集成到椭圆偏振仪中，可以准确测量对象的角度，并通过数值管理姿态。这样可以减少测量波动，从而改善良率。

相关产品