SOLUTIONS

解决方案案例

半导体晶圆

确认椭圆偏振仪对非接触测量对象的入射角度

确认椭圆偏振仪对非接触测量对象的入射角度
半导体 內嵌半导体晶圆椭圆偏振仪
远距离半导体晶圆、搬运器、载物架姿态非接触监控

远距离半导体晶圆、搬运器、载物架姿态非接触监控
半导体 半导体晶圆晶圆处理器
切割、研磨后的半导体晶圆形状（弯曲）非接触测量

切割、研磨后的半导体晶圆形状（弯曲）非接触测量
半导体 半导体晶圆翘曲
在旋涂机工艺中的半导体晶圆倾斜和振动非接触测量

在旋涂机工艺中的半导体晶圆倾斜和振动非接触测量
半导体 半导体晶圆旋涂机
恒温槽、真空腔内的半导体晶圆非接触弯曲测量

恒温槽、真空腔内的半导体晶圆非接触弯曲测量
半导体 半导体晶圆翘曲
半导体晶圆周边部的卷边（Roll-off）非接触测量

半导体晶圆周边部的卷边（Roll-off）非接触测量
半导体 半导体晶圆滚动偏移
真空喷嘴非接触姿态监测

真空喷嘴非接触姿态监测
半导体 半导体晶圆真空喷嘴
晶圆处理器滑动部非接触式老化监测

晶圆处理器滑动部非接触式老化监测
半导体 半导体晶圆晶圆处理器