SOLUTIONS

解决方案案例

半导体

使用两台自动准直仪测量测量物的平行度

使用两台自动准直仪测量测量物的平行度
半导体 光学部件平行度
使用两台自动准直仪测量测量物的直角度

使用两台自动准直仪测量测量物的直角度
半导体 光学部件直角度
die collet与基准面平行度的确认

die collet与基准面平行度的确认
半导体 半导体芯片平行度
半导体晶圆投影（曝光）镜头模块的光轴调整

半导体晶圆投影（曝光）镜头模块的光轴调整
半导体 光刻掩模光轴半导体曝光设备镜头
确认椭圆偏振仪对非接触测量对象的入射角度

确认椭圆偏振仪对非接触测量对象的入射角度
半导体 內嵌半导体晶圆椭圆偏振仪
远距离半导体晶圆、搬运器、载物架姿态非接触监控

远距离半导体晶圆、搬运器、载物架姿态非接触监控
半导体 半导体晶圆晶圆处理器
切割、研磨后的半导体晶圆形状（弯曲）非接触测量

切割、研磨后的半导体晶圆形状（弯曲）非接触测量
半导体 半导体晶圆翘曲
在旋涂机工艺中的半导体晶圆倾斜和振动非接触测量

在旋涂机工艺中的半导体晶圆倾斜和振动非接触测量
半导体 半导体晶圆旋涂机
恒温槽、真空腔内的半导体晶圆非接触弯曲测量

恒温槽、真空腔内的半导体晶圆非接触弯曲测量
半导体 半导体晶圆翘曲