MEMS 反射镜倾斜动作时的角度评估

・问题

对于尺寸约 1 mm 的 MEMS 反射镜等可倾斜镜面，是否有非接触、简便的测量方法？

・解决方案

通过使用大角度范围的倾斜度传感器，或组合多台倾斜度传感器，可测量原点位置及两端的角度。借此能够评估光学部件的可动倾斜范围、非驱动轴的抖动情况以及停止时的重复性。由于测量方式为非接触，不会对被测物造成负担。
倾斜度传感器不受目标物尺寸限制，可实现高精度角度测量。