开发背景
在自动对准仪法的倾斜测量之外，是否可以同时进行位移测量？根据客户的需求，我们开发了这款位移倾斜传感器。
通过将传感器头和处理单元一体化，并进一步轻量化和小型化，我们开发了易于使用、便于装置集成的产品。
特点
1. 将三角测量和自动对准仪的测量方式结合为一
2. 传感器与处理器一体化，并实现高速测量（1K数据/s）
3. 同时进行位移和倾斜测量【专利第5330114号】
产品信息
| 项目 | 一体化位移倾斜传感器 | ||||
| 型号 | SH-3100 | SH-3200 | |||
| 测量对象 | 光学平面（推荐反射率80%以上） | ||||
| 工作距离 | 50±0.5mm | ||||
| 测量项目 | 倾斜（ΘX,ΘY） | 位移（Z） | 倾斜（ΘX,ΘY） | 位移（Z） | |
| 测量范围 | ±60分※1 | ±1.5mm | ±90分※1 | ±5mm | |
| 重复性※2 | 0.009分 | 0.15μm | 0.013分 | 0.53μm | |
| 线性度※3 | ±0.2% of F.S.（相当于±0.24分） | ±0.075% of F.S.（相当于±2.25μm） | ±0.125% of F.S.（相当于±0.225分） | ±0.075% of F.S.（相当于±7.5μm） | |
| 光源 波长 / 光束直径 |
660±10nm / φ0.2mm以下 | ||||
| 输出更新率 | 1,000次/秒 | ||||
| 外形尺寸（不包括凸出部分） | W100 D80 H35mm | ||||
※1. 圆形范围
※2. 我公司标准样品安装在W.D.位置，静止状态下测量，波动范围6σ。测量条件：平均16次
※3. 我公司标准样品测量时，表示与理想直线的偏差。测量对象可能会有所不同。
