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解决方案案例

使用两台自动准直仪测量测量物的平行度

・问题

硅光子学等半导体器件的平行度是一个重要因素。是否有一种简单的方式来测量平行度？

・解决方案

通过使用两台倾斜传感器和平行度标定装置，可以轻松地非接触测量平行度。配备高亮度LD和高灵敏度接收部的倾斜传感器，能够测量小型、反射率低的目标物。这样可以实现数值管理，并有望减少操作时间和维护成本。

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