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解决方案案例

远距离半导体晶圆、搬运器、载物架姿态非接触监控

遠距離からの半導体ウェーハ、ハンドラー、キャリアの姿勢非接触監視
遠距離からの半導体ウェーハ、ハンドラー、キャリアの姿勢非接触監視

・问题

当设备变得更大，或者设备的移动范围增大时，即使需要进行各种测量，由于工作距离等条件的限制，也没有合适的测量工具。有没有解决办法？

・解决方案

在测量大型设备时，使用倾斜传感器能够从远距离进行高精度、高速的倾斜测量，具有很好的效果。相比位移计，倾斜传感器可以实现更高精度的测量，并且有助于减少维护成本。

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