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解决方案案例

恒温槽、真空腔内的半导体晶圆非接触弯曲测量

恒温槽、真空チャンバ内の半導体ウェーハ非接触反り測定

・问题

在恒温槽、真空腔等被玻璃等密封的环境中，如何确认半导体晶圆等的弯曲质量。由于无法对设备进行改造，不确定应该如何进行测量。

・解决方案

通过倾斜传感器，非接触地通过腔体窗户测量恒温槽、真空腔内半导体晶圆的弯曲。无需复杂的设备改造或传感器安装步骤即可进行测量。

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