SOLUTIONS

解决方案案例

晶圆处理器滑动部非接触式老化监测

ウェーハハンドラのスライダ部非接触経年劣化監視

１.问题

・希望管理晶圆处理器滑动部的老化问题。

2.解决方案

・晶圆处理器运行时，通过倾斜传感器测量各部位的倾斜度。通过对设备进行健康监测，设备的变化一目了然，从而能够提升产量。

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