半导体晶圆投影（曝光）镜头模块的光轴调整 半导体 光刻掩模 光轴 半导体曝光设备 镜头 ・问题 如何在晶圆曝光设备中，无偏差地构建投影镜头模块？ ・解决方案 使用倾斜传感器可以非接触地测量投影镜头模块的光轴对准、光掩膜和镜头的倾斜。通过这种方式，可以减少生产时间，并改善偏差。
