利用双路分光激光进行直角度测量

・问题

在硅光子学等半导体器件中，直角度是关键指标。是否有更简便、更快速的直角度测量方法？

・解决方案

通过使用两台倾斜度传感器及直角度基准块，可轻松实现直角度测量。
搭载高亮度激光二极管（LD）与高灵敏度受光部件的倾斜度传感器，即使是尺寸较小、反射率较低的目标物也能进行测量。这种方式可实现非接触测量，并有效缩短节拍时间。