位移倾斜传感器

位移倾斜传感器是采用自准直仪法与三角测量法相结合的非接触式三轴同步测量设备（采用专利第5330114号技术）。

与五维传感器相同，该设备通过全反射镜（反射镜靶标）实现测量功能。不同于接触式三维测量仪，其采用激光进行非接触实时测量，特别适用于无法接触的微小物体及高速移动物体的测量。

自准直仪原理

准直仪是人工生成平行光（沿直线传播的光束）的装置。其工作原理是通过透镜折射光源发出的光线，使其形成平行光束。采用该原理的发光装置称为“自准直仪”，即自动产生直线传播光束的装置。

位移倾斜传感器搭载平行光系统。
从位移倾斜传感器射出的平行光入射至反射镜靶标后发生反射。反射光进入位移倾斜传感器的倾斜测量部光学系统，该测量部配备有透镜。

反射光经透镜聚焦后，在位置传感器上形成成像光斑。

该光斑位置会随入射到透镜的角度变化而改变。通过检测这种位置变化实现非接触式角度测量。即利用平行光反射后经透镜聚光，将光斑位置转换为角度值的测量方式称为自动准直仪法。

三角测量法原理

位移倾斜传感器的高度测量采用三角测量法实现。
位移倾斜传感器将激光器设置为对准目标镜面进行斜向照射。斜射光线经目标镜面反射后入射至传感器。反射光的位置会随目标高度变化而改变。通过位置传感器检测反射光的高度变化，即可实现非接触式高度测量。

三角测量法是众多激光位移计采用的基础技术。