精密平台的俯仰、横摆、滚动及铅直变位测量
・问题
在精密平台和半导体制造设备中，高速、长行程移动时产生的俯仰、横摆、滚动及铅直方向变位，是影响产品质量的重要评估项目。然而，这些数微米、数角秒级的微小偏差，采用传统测量夹具或复杂的安装方式时，难以简单、快速地完成评估。
・解决方案
组合使用HR-1100（俯仰／横摆）与SH-3100（滚动／铅直变位），能够以非接触方式实时可视化平台运动过程中的整体姿态变化。
- 同时测量4轴运动：同步测量俯仰、横摆、滚动及铅直变位
- 实时测量：实时确定移动过程中“何时、何处、偏移多少”
由此可帮助提升平台性能，并加快故障分析和处理。
