精密平台的俯仰与偏航评估

・问题

在曝光机等精密平台中，即使在长行程移动过程中出现极微小的俯仰或偏航，也是不被允许的。
是否有一种测量方法，可以对平台在行程运动中产生的微小旋转误差进行简便且高精度的评估？

・解决方案

通过使用倾角传感器，无论测量距离如何，都能轻松实现准确且高精度的角度测量。
当平台进行行程运动时，可对俯仰和偏航两个轴向的变化进行非接触、实时的同时测量。